質(zhì)量流量計的原理

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目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測定流量?！保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周?chē)h(huán)境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）

質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現，當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà)，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí)，考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。

MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě)，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉的管內流動(dòng)時(shí)會(huì )對管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時(shí)發(fā)現的，簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動(dòng)線(xiàn)圈，兩端裝有拾振線(xiàn)圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動(dòng)線(xiàn)圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復周期振動(dòng)，工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì )在振管上產(chǎn)生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線(xiàn)圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個(gè)信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。